鐘罩爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
今天小編要與大家分享的是鐘罩爐使用前校準方法:
1、校準點的位置:對于容積大于0.15m3的設(shè)備,應(yīng)布3個校準點。分別位于測溫區(qū)中心點(控溫偶位置點)及中心點前和后各(5~10)cm的相應(yīng)位置。
2、校準溫度點的選擇:校準點一般應(yīng)選擇上限溫度點或下限溫度點進行,也可根據(jù)需要選擇常用溫度點。對于容積小于0.15m3的井式或管式設(shè)備,應(yīng)布1個校準點。位于測溫區(qū)中心點(控溫偶位置點)。根據(jù)工作區(qū)域大小和形狀,將傳感器按規(guī)定數(shù)量與位置布放在工作區(qū)域內(nèi)。
3、校準步驟:該設(shè)備一般處于空載(空爐)條件下,特殊要求時可以負載校準(半載或滿載)。在負載情況下校準時,熱電偶測量端應(yīng)盡可能和工件接近。爐料的材質(zhì)、形狀、大小、布置方式、測量點的位置和要求達到指標等根據(jù)實際需要進行校準。校準時使用常用的升溫速度升溫檢測,不可降溫檢測,具有風機的設(shè)備,在校準期間風機應(yīng)該正常運轉(zhuǎn)。升溫后,應(yīng)密切注視檢測熱電偶在檢測儀表上的顯示值。當溫度達到設(shè)定溫度,并穩(wěn)定30min后,確定電阻爐已達到熱穩(wěn)定狀態(tài),開始進行溫度參數(shù)校準。在30min內(nèi),每隔3min測量各檢測點溫度1次,并記錄各點的溫度值,共測量10次,計算出爐溫均勻度、爐溫波動度及爐溫準確度。
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