鐘罩爐所提供的燒結窯爐的主要特性是高效率，其智能控制系統(tǒng)和其他設備構成了一個完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業(yè)近乎藝術級的要求。可以根據(jù)需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線，來生產(chǎn)高質(zhì)量的產(chǎn)品。除此以外還可以根據(jù)實際需要及時生產(chǎn)任何其他產(chǎn)品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數(shù)操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結可以在夜間完成，實現(xiàn)電力調(diào)峰，在當今電力緊張情況下，十分實用。

　　目前設備可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩爐主要由真空腔室、加熱室、進氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成的，下面咱們來了解下各組成部分的作用：

　　1.真空腔室：真空腔室是其工作空間，晶圓在這里進行快速熱處理。

　　2.加熱室：加熱室以多個紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。

　　3.進氣系統(tǒng)：真空腔室尾部有進氣孔，控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。

　　4.真空系統(tǒng)：在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度，同時避免氣體倒灌污染腔室內(nèi)的被處理工件。

　　5.溫度控制系統(tǒng)：溫度控制系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電力調(diào)整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。

　　6.氣冷系統(tǒng)：真空腔室的冷卻是通過進氣系統(tǒng)向腔室內(nèi)充入惰性氣體，來加速冷卻被熱處理的工件，滿足工藝使用要求。

　　7.水冷系統(tǒng)：主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。